超音波厚さ計による石英ガラスの測定方法

石英ガラスは、耐熱性と耐薬品性に優れた透明のガラスです。
特に、耐熱性が非常に高く、1000℃もの高温に耐えることができます。
ビーカーやフラスコなどの理化学用途、照明・光学用途、半導体工業などで使用されています。

超音波厚さ計は、石英ガラスを傷つけることなく非破壊で厚さを測定することができます。このため、石英ガラスの厚さ管理に使用されています。

石英ガラスは、超音波の透過に優れており、超音波厚さ計での測定に適した材料です。
一方で、石英ガラスの厚さ測定では、湾曲部の測定が中心に行われており、一般的な厚さ計ではその形状のため、測定が難しい場合があります。
ここでは、石英ガラスの厚みと形状に適した、機種とトランスデューサーの組み合わせを紹介します。

■厚さ:1mm以上、形状:平坦、なだらかな湾曲
超音波厚さ計PR-8²と、10MHzのトランスデューサーの組み合わせで測定します。
なだらかな湾曲部は問題なく測定することができますが、もし測定値が安定しない場合は、トランスデューサーの接触させる向きを変えることで、測定値が安定する場合があります。
*PR-8²の代わりに、MXシリーズやCMXシリーズでの測定も可能です。

■厚さ:0.3mm以上、形状:平坦、ならだらかな湾曲
超音波厚さ計PX-7またはPVXと15MHzまたは20MHzのディレイラインチップ(遅延材)付きトランスデューサーを使用します。

■厚さ:0.5mm以上、形状:平坦、湾曲
超音波厚さ計PVXと、ペンシル型トランスデューサーを使用します。
ペンシル型トランスデューサーの使用方法については、こちらをご確認ください。