技術資料(よくわかる講座)

石英ガラスの厚さ測定

石英ガラスは、金属不純物の割合が極めて少ない透明度の高いガラスです。耐熱性と耐薬品性に優れており、耐熱性については、1,000℃もの高温に耐えることができます。
溶融石英や溶融シリカ、シリカガラスとも呼ばれ、ビーカーやフラスコなどの理化学用途、照明・光学用途、半導体工業などで使用されています。

超音波厚さ計を用いることで、傷つけることなく非破壊で石英ガラスの厚さを測定することができます。

測定方法

石英ガラスは、超音波の伝達に優れており、超音波厚さ計での測定に適した材料です。
一方、石英ガラスの厚さ測定では湾曲部の測定が中心に行われており、一般的な厚さ計ではその形状のため、測定が難しい場合があります。
ここでは、石英ガラスの厚みと形状に最適な装置とトランスデューサー(プローブ・探触子)の組み合わせを紹介します。

厚さ:1mm以上 形状:平坦、なだらかな湾曲

超音波厚さ計ZXシリーズ(ZX-1/ZX-2ZX-3/ZX-5)と、10MHzのトランスデューサーの組み合わせで測定します。
なだらかな湾曲部は問題なく測定することができますが、もし測定値が安定しない場合は、トランスデューサー(プローブ・探触子)の接触させる向きを変えることで、測定値が安定する場合があります。

厚さ:0.3mm以上 形状:平坦、ならだらかな湾曲

超音波厚さ計PZX-7またはPVXと15MHzまたは20MHzの遅延材(ディレイラインチップ)付きトランスデューサーを使用します。

厚さ:0.5mm以上 形状:平坦、湾曲

超音波厚さ計PVXと、ペン型トランスデューサーを使用します。
ペン型トランスデューサーの使用方法については、こちらをご確認ください。

対応トランスデューサー

周波数 種別 探触子 対応機種 部品番号 価格(税別)
10MHz 9mm   二振動子 ZX TT-D10-316 54,000円
10MHz 12mm   二振動子 ZX TT-D10-14 54,000円
10MHz 2mm ペン型 遅延材付き 一振動子 PVX TT-SD10-116P 110,000円
10MHz 2mm ペン型/ショートタイプ 遅延材付き 一振動子 PVX TT-SD10-116PR 110,000円
15MHz 2mm ペン型 遅延材付き 一振動子 PVX TT-SD15-116P 125,000円
15MHz 7mm 遅延材付き 一振動子 PZX-7、PVX TT-SD15-14 85,000円
20MHz 7mm 遅延材付き 一振動子 PZX-7、PVX TT-SD20-14 88,000円

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*本資料は、測定の一例を示すものであり、規格・法令等により定められた測定方法を説明するものではありません。